セラミックシートピンホール検査装置

 

概要

高精度で動作するXYステージ上にセットしたセラミックシートのピンホールを高精度で検査し、
ピンホールの面積またはサイズ、位置を計測しヒストグラムと画像を表示します。

システム構成

特徴

  • 繰り返し制度±3ミクロンのアクチュエータとACサーボモーターを使用した高精度移動ステージを採用しています。
  • 信号処理ユニットIME400を搭載していますので大容量のピンホール情報を高速で処理できます。

検査条件

  • 対象物 サイズ 140X140mm、厚さ80μm
  • カメラ画素数 5150ビット
  • スキャン速度 270μs
  • カメラ視野 35mm
  • 分解能 7μm
  • 検査時間 約20秒